Mikroelektromehāniskā iekārta un tās izgatavošanas metode un tehniskās realizācijas elementi

Tehniskās realizācijas elementi:

4. Ņemot vērā iepriekš minētās problēmas, tiek piedāvāts šis izgudrojums. Šis izgudrojums nodrošina jaunu atmiņu ierīces struktūru, kas var izvairīties no konsoles siju izmantošanas, tai ir lielāka izturība un vienkāršāka struktūra. Šis izgudrojums nodrošina arī jaunu mems ierīces ražošanas metodi, kurai ir vienkāršas procesa darbības un kas var uzlabot ražošanas ražu.

5. Saskaņā ar iemiesojumu piemēru mikroelektromehāniskā ierīce var saturēt: izolācijas substrātu; atbalsta stabs, kas novietots uz pamatnes, un atbalsta stabs atbalsta necaurlaidīgu masu; substrāta apņemšana uz pamatnes Viens vai vairāki elektrodu plākšņu pāri, kas izvietoti uz masas bloka, katrs elektrodu plākšņu pāris ir izvietots masas bloka pretējās pusēs; un izolācijas pārsega plāksne, uz kuras ir izvietots elektrodu plākšņu pāris, kas atbilst vienam vai vairākiem elektrodu plākšņu pāriem, vai vairāki elektrodu pāri, ja pārklājuma plāksne pārklāj vienu vai vairākus elektrodu plākšņu pārus, vienu vai vairākus elektrodu pārus elektrodu ir attiecīgi elektriskā kontaktā ar vienu vai vairākiem elektrodu plākšņu pāriem.

6. Dažos iemiesojumos atbalsta stabs, piespiedu masa un viens vai vairāki elektrodu plākšņu pāri ir veidoti no vadītāja vai pusvadītāja materiāla, un vadošie vadi, kas savienoti ar atbalsta stabu, ir savienoti no vienas pamatnes puses. Izvads, vadošie vadi, kas savienoti ar vienu vai vairākiem elektrodu pāriem, tiek izvadīti no vienas pārsega plāksnes puses.

7. Dažos iemiesojumos pārklājuma plāksne ir veidota ar atveri starp vienu vai vairākiem elektrodu pāriem, lai atklātu atbalsta stabu un necaurlaidīgo masu.

8. Dažos iemiesojumos piespiedu masas augstums ir zemāks par viena vai vairāku elektrodu plākšņu pāru augstumu.

9. Dažos iemiesojumos mikroelektromehānisko ierīci izmanto kā akselerometru, un vienu vai vairākus elektrodu plākšņu pārus izmanto, lai izmērītu kapacitātes izmaiņas, ko izraisa pārbaudes masas stāvokļa izmaiņas.

10. Dažos iemiesojumos mikroelektromehānisko ierīci izmanto kā žiroskopu, un viens vai vairāki elektrodu plākšņu pāri ietver vismaz pirmo elektrodu plākšņu pāri un otro elektrodu plākšņu pāri, pirmo elektrodu plākšņu pāri A piedziņai. tiek pielietots signāls, lai virzītu pierādīšanas masu tā, lai tā svārstītos starp pirmo elektrodu plākšņu pāri, un otro elektrodu plākšņu pāri izmanto, lai izmērītu kapacitātes izmaiņas, kas radušās pierādīšanas masas stāvokļa izmaiņu dēļ.

Sazinies ar mums:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tālr.: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894