MEMS ierīces ražošanas metode

tehniskajā jomā

1. Šis atklājums attiecas uz atmiņu ierīci ar uzlabotu sprieguma sadalījumu.

Fona tehnika:

2. Kā zināms, elektroniskās ierīces (“mikroelektromehāniskās sistēmas”), piemēram, izpildmehānismi un/vai sensori, parasti tiek veidotas uz substrāta, kurā atrodas dobums, un tajās ietilpst kustīgas konstrukcijas, kas ir piekārtas virs dobuma un ierobežotas ar elastīgo. elements fiksētajā zonā. Substrāts, kustīgā struktūra un elastīgais elements var būt neatņemami, un parasti tie ir veidoti no pusvadītāju materiāla, piemēram, silīcija.

3. Šīs elektroniskās ierīces ietver arī: vienu vai vairākas iedarbināšanas un/vai noteikšanas struktūras, kas savienotas ar kustīgo konstrukciju; un elektriskās vadības ķēdes, kas integrētas vienā substrātā vai veidotas dažādos substrātos, un savienojums ar iedarbināšanas un/vai noteikšanas struktūru var nodrošināt elektriskās piedziņas signālus iedarbināšanas struktūrai un/vai saņemt elektriskos noteikšanas signālus no noteikšanas struktūras.

4. Sīkāk, iedarbināšanas struktūra var izraisīt kustīgās konstrukcijas pārvietošanos, piemēram, griešanos, ja to kontrolē atbilstošs elektriskās piedziņas signāls. Līdzīgi noteikšanas struktūra ir konfigurēta, lai ģenerētu atbilstošus elektriskos signālus, kas ir atkarīgi no kustīgās struktūras darbības apstākļiem un, piemēram, no kustīgās struktūras rotācijas diapazona.

5. Elektriskā vadības ķēde un iedarbināšanas un/vai noteikšanas struktūra parasti ir elektriski savienotas viena ar otru ar vadošām trasēm, piemēram, veidotas no vadošu slāņu kaudzes.

6. Vadošās sliedes parasti stiepjas pāri fiksētām zonām, elastīgiem elementiem un dažreiz daļēji pāri kustināmām konstrukcijām.

7. Lietošanas laikā kustīgās konstrukcijas pārvietošanās izraisa elastīgo elementu deformāciju, piemēram, sagriešanos, kas ierobežo kustamo konstrukciju fiksētajā zonā.

Sazinies ar mums:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tālr.: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894