MEMS mikrokarstā plāksne, kuras pamatā ir sānu kompozītmateriāla dielektriskā plēve un tās ražošanas metode un tehniskās realizācijas elementi

Tehniskās realizācijas elementi:

4. Ņemot vērā iepriekš minētās tehniskās problēmas, šis izgudrojums nodrošina mikrosildīšanas plāksni, kuras pamatā ir šķērsvirziena kompozītmateriāla dielektriskā plēve, un tās ražošanas metodi.

5. Šī izgudrojuma mērķis ir nodrošināt plakana tipa mikrosildvirsmas plāksni ar zemiem sānu siltuma vadīšanas zudumiem, augstu mikrosildvirsmas enerģijas patēriņa efektivitāti un zemu mehānisko deformāciju, ko izraisa termiskais spriegums, kas atbilst prasībām, piemēram, kā zems enerģijas patēriņš, zema deformācija, augstas stabilitātes un uzticamības prasības.

6. Tehniskā shēma, saskaņā ar kuru šis izgudrojums atrisina iepriekš minēto tehnisko problēmu, ir šāda:

7. Mems mikrokarstā plāksne, kuras pamatā ir šķērsvirziena kompozītmateriāla dielektriskā plēve, un mikrokarstā plāksne sastāv no kompozītmateriāla dielektriskā slāņa, uz silīcija bāzes veidota substrāta, izolācijas atbalsta slāņa, sildīšanas elektroda, signāla elektroda un paliktņa, un muguras kodināšanas zona;

8. Substrāts uz silīcija bāzes ir pamats mikro sildvirsmas izgatavošanai;

9. Izolācijas atbalsta slānis atrodas virs silīcija bāzes substrāta, ko izmanto izolācijai, samazinot siltuma zudumus un nodrošinot atbalstu elektrodu sildīšanas zonai un signāla mērīšanas zonai;

10. Sildīšanas elektrods ir novietots virs izolācijas atbalsta slāņa, un sildīšanas elektrods ģenerē sildīšanas zonu, lai nodrošinātu nepieciešamo darba temperatūru mikro sildvirsmai;

Sazinies ar mums:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tālr.: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894